户 下降 能耗 的需 求 ，节 能 降耗 是 现在 许 多 客 户 发 展 的需 求 ，所 以伺 服 控 制 油压 系 统 的 应 用 是 符 合 市 场 需 求 的 。伺 服 控 制 油 压 技 术 应 用 于 半 导 体 塑 封 压 机 主 要 设 计 包 括 ３点 ： 伺服 驱 动 系 统 设 计 ， 液

  （ １ ． 铜 陵富仕 三佳机器 有 限公 司技能部 ， 安徽 铜陵 ２ ４ ４ ０ ０ ０； ２ ． 安徽 中智 光源科技 有 限公 司 ， 安徽 铜 陵 ２ ４ ４ ０ ０ ０ ）

  中 图分 类号 ： Ｔ Ｍ３ ８ ３ ． ４ 文 献标 识 码 ： Ｂ 文章 编号 ： １ ０ ０ ４ — ４ ５ ０ ７ （ ２ ０ １ ６ ） １ ２ — ０ ０ ３ ０ — ０ ４

  Ｔｈ ｅ Ａｐ ｐ ｌ ｉ ｃ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ ｏ ｆ Ｈｙ ｄ ｒ ａ ｕ ｌ ｉ ｃ Ｓ ｅ ｒ ｖ ｏ Ｃｏ ｎ ｔ ｒ ｏ ｌ

  Ｔｅ ｃ ｈｎｏ ｌ ｏ ｇ ｙ ｉ ｎ Ｍｏ ｌ ｄｉ ｎｇ Ｐｒ ｅ ｓ ｓ

  （ １ ． Ｔ ｏ ｎ ｇ ｌ ｉ ｎ ｇ Ｆ ｕ ｓ ｈ ｉ Ｓ ａ Ｎｉ ａ Ｍａ ｃ ｈ ｉ ｎ ｅ Ｃ ｏ ． ， Ｌ ｔ ｄ， Ｔ ｏ ｎ ｇ ｌ ｉ ｎ ｇ ２ ４ ４ ０ ０ ０ ， Ｃ ｈ ｉ ｎ ａ ； ２ ． Ａ ｎ ｈ ｕ ｉ Ｚ ｈ ｏ ｎ ｇ ｚ ｈ ｉ Ｌ ｉ ｇ ｈ ｔ Ｓ ｏ ｕ ｒ ｃ ｅ Ｔ ｅ ｃ ｈ ． ， Ｌ ｔ ｄ ， Ｔ ｏ ｎ ｇ ｌ ｉ ｎ ｇ ２ ４ ４ ０ ０ ０ ， Ｃ ｈ ｉ ｎ ａ ）

  伺 服 控 制 技 术 在 半 导 体 塑 封 压 机 行 业 开 始 应

  早 期 的 半 导 体 封 装 设 备 都 是 采 用 异 步 电机 和 定 量 泵 的组 合 ，通 过 液 压 份额 阀控 制 压 力 和 流 量

  前 大 功 率 的使 用 需 求 ， 控 制 器 精 度 也 不 断 的提 高 ，

  中 期 的 变 频 技 术 也 逐 渐 被 伺 服 控 制 油 压 技 术 替 代， 现在 使 用 的伺 服 控 制 油 压 技 术 ， 主 要 解 决 了客

  Ａｂ ｓ ｔ ｒ ａ ｃ ｔ ：Ｅａ ｒ ｌ ｙ ｓ ｔ ａ ｇ ｅ ｏ ｆ ｔ ｒ ａ ｎ ｓ ｆ ｅ ｒ ｍｏ ｌ ｄ ｉ ｎ ｇ ｐ ｒ ｅ ｓ ｓ ａ ｄ ｏ ｐ ｔ ｅ ｄ ｔ ｈ ｅ ｃ ｏ ｍｂ ｉ ｎ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ ｏ ｆ ａ ｓ ｙ ｎ ｃ ｈ ｒ ｏ ｎ ｉ ｓ ｍ ｍｏ ｔ ｏ ｒ ａ ｎ ｄ ｍｅ ｔ ｅ ｒ ｉ ｎ ｇ ｖ ａ ｌ ｖ ｅ ， ｐ ｒ ｅ ｓ ｓ ｒｅ ｕ ａ ｎ ｄ ｏ ｕ ｔ ｐ ｕ ｔ ｌ ｆ ｏ ｗ ｗｅ ｒ ｅ ｃ ｏ ｎ ｔ ｒ ｏ ｌ ｌ ｅ ｄ ｂ ｙ ｐ ｒ ｏ ｐ ｏ ｒ ｔ ｉ ｏ ｎ ａ ｌ ｖ ａ ｌ ｖ ｅ ． Ｆ ｒ ｅ ｑ ｕ ｅ ｎ ｃ ｙ ｃ ｏ ｎ ｖ ｅ ｒ ｓ ｉ ｏ ｎ ｔ ｅ ｃ ｈ ｎ ｏ ｌ ｏ ｇ ｙ ｗａ ｓ ａ ｄ ｏ ｐ ｔ ｅ ｄ ａ ｔ ｔ ｈ ｅ ｍｉ ｄ － ｓ ｔ ａ ｇ ｅ ｏ ｆ Ｖ ａ ｎ ｓ ￣ｒ ｍｏ ｌ ｄ ｉ ｎ ｇ ｐ ｒ ｅ ｓ ｓ ，ｃ ｏ ｎ ｔ ｒ ｏ ｌ ｐ ｒ ｅ ｃ ｉ ｓ ｉ ｏ ｎ ｈ ａ ｄ ｎ ’ ｔ ｂ ｅ ｅ ｎ

  摘 要 ： 早 期 半 导 体 塑封 压机 均是 采 用 异 步 电机 和 定 量泵 组 合 ，通 过 份额 阀控 制 压 力 、 流量 输 出， 发 展 中期 塑封 压机 采 用过 变频技 术 ， 但 是 控 制精 度 均 未得 到提 高 ， 现 在 采 用 伺服 控 制 液 压 技

  术， 直接 控 制伺 服 电机 输 出 ， 采 用压 力和 电机 速 度 双反应 ， 提 升控 制输 出精 度 。 关键词 ： 伺 服 操控 ； 双 闭环 ； 高精 度 ； 节能

  ｉ ｍｐ ｒ ｏ ｖ ｅ ｄ ｙ ｅ ｔ ．Ｎｏ ｗ ｓ ｅ ｒ ｖ ｏ ｈ ｙ ｄ ｒ ａ ｕ ｌ ｉ ｃ ｃ ｏ ｎ ｒｏ ｔ ｌ ｔ ｅ ｃ ｈ ｎ ｏ ｌ ｏ ｙ ｇ ｉ ｓ ａ ｄ ｏ ｐ ｔ ｅ ｄ ｔ ｏ ｃ ｏ ｎ ｔ ｒ ｏ ｌ ｓ ｅ ｒ ｖ ｏ ｍｏ ｔ ｏ ｒ ｏ ｕ ｐｕ ｔ ｔ

  ｄｉ ｒ ｅ ｃ ｔ ｌ ｙ，ａ ｎｄ ｔ ｏ ａ ｃ ｈｉ ｅ ｖｅ ｄ ｏ ｕ ｂｌ ｅ ｆ ｅ ｅ ｄ ｂ ａ ｃ ｋ ｏ ｆ ｐ ｒ ｅ ｓ ｓ ｕ ｒ ｅ ａ ｎｄ ｍｏ ｔ ｏ ｒ ｓ ｐｅ ｅ ｄ，ａ ｎｄ ｃ ｏ ｎｔ ｒｏｌ ｐ ｒ ｅ ｃ ｉ ｓ ｉ ｏ ｎ ｈａ ｓ ｂ ｅ ｅ ｎ

  ｉ ｍｐ ｒ ｏ ｖ ｅ ｄ ｓ ｉ ｇ ｎ ｉ ｉ ｆ ｃ ａ ｎ ｔ ｌ ｙ ．

  Ｋｅ ｙ ｗｏ ｒ ｄｓ ：Ｓ ｅ ｒ ｖｏ ｃ ｏ ｎｔ ｒｏｌ ； Ｄｏ ｕｂ ｌ ｅ ｃ ｌ ｏｓ ｅ ｄ ｌ ｏｏ ｐ； Ｈｉ ｇ ｈ— ｐ ｒ ｅ ｃ ｉ ｓ ｉ ｏ ｎ； Ｅｎｅ ｒ ｙ ｇ ｓ ａ ｖｉ ｎｇ